Gamma di viaghju
20 mm
Risoluzione
0,125 μm
Ripetibilità
＜1 μm
A dritta
＜2 μm
Parallelismu
＜5 μm
Pitching
10″（50μrad）
Ignata
Velocità massima
5 mm/ sec
Capacità di carica
10 kg
Pesu
1,5 kg
